Svovl hexafluoridgas

Semiconductor Application Scenarios: Præcist at matche kravene til avancerede fremstillingsprocesser

5N-klasse svovl hexafluorid bruges som et effektivt ætsningsmiddel til præcist atgrave mikronniveau kredsløbsmønstre på siliciumskiver, undgå sidevægs ruhed eller enheds kortslutninger forårsaget af urenheder .

Dens kemiske stabilitet kan fjerne resterne i deponeringsudstyrets hulrum, og på samme tid som et dopingmiddel til isoleringslaget kan det forbedre den optiske ydelse af enkelt-mode optiske fibre og sikre stabiliteten af fotolitografiprocessen .

De iboende sikre egenskaber ved at være ikke-brandfarlige og ikke-korrosive reducerer opbevarings- og brugsrisici i Wafer Fabrication Plants og opfylder standarderne for halvlederrensningsrene .

Proper handling of Sulfur hexafluoride gas requires specialized knowledge and equipment due to its unique combination of properties. While SF6 itself is non-toxic, the gas is five times denser than air and can cause asphyxiation in confined spaces. Industrial users typically work with Sulfur hexafluoride 99.997% or higher purity Karakterer, der hver især kræver lidt forskellige håndteringsovervejelser.

The storage and transfer of High purity Sulfur hexafluoride 99.999% demands particular care to prevent contamination. Specially designed gas cabinets with integrated purification systems maintain the quality of Electronic Grade Sulfur hexafluoride during distribution. All equipment coming into contact with SF6 gas must be thoroughly cleaned and passivated to prevent reactions that could Generer farlige biprodukter.

Procedurer for nødsituation for svovl hexafluorid cas 2551-62-4 frigivelser understreger ventilation og atmosfærisk overvågning snarere end traditionelle kemiske indeslutningsmetoder . Moderne SF6-håndteringssystemer inkorporerer realtidsgasføler, der udløser alarmer ved koncentrationer så lave som 100 ppm, godt under farlige niveauer, men tilstrækkelige til at detektere lækager tidligt .}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}

Populære tags: Svovl hexafluoridgas, Kina svovl hexafluoridgasproducenter, leverandører, fabrik